Organoamino-Polysiloxane zur Abscheidung Siliciumhaltiger Filme

EP3580370 Art A1 18. Dezember 2019

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3580370
Aktenzeichen: EP18751016
Anmeldetag: 6. Februar 2018
Veröffentlichung: 18. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C07F7/10C23C16/40C23C16/455C23C16/50H01L21/02C08G77/04C08G77/26C09D183/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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