Bestimmung von Signifikanten Beziehungen zwischen Parametern, die den Betrieb einer Vorrichtung Beschreiben
EP3582007
Art A1
18. Dezember 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3582007
- Aktenzeichen
- EP18177970
- Anmeldetag
- 15. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G05B23/02G06Q10/00G06Q50/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
49
Patente gesamt
11
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven