Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Lithographischen Herstellungsverfahrens
EP3583467
Art B1
1. Juni 2022
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3583467
- Aktenzeichen
- EP18700091
- Anmeldetag
- 3. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 1. Juni 2022
- Erteilung
- 1. Juni 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F9/00G01N21/93
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven