Verfahren zur Echtzeitüberwachung eines Prozess und Massenspektrometer
EP3586352
Art B1
7. April 2021
Anmelder: Leybold GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3586352
- Aktenzeichen
- EP17706728
- Anmeldetag
- 21. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 7. April 2021
- Erteilung
- 7. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32A61B5/08H01J49/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Leybold GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Norton, Ian Andrew
Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kohler Schmid Möbus Patentanwälte
Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen