Steuerung der Direktionalität bei der Atomschichtätzung

EP3586357 Art B1 11. Dezember 2024

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3586357
Aktenzeichen
EP18758014
Anmeldetag
26. Februar 2018
Veröffentlichung
11. Dezember 2024
Erteilung
11. Dezember 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H01L21/311H01L21/3213H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
LAM Research Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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