Vorrichtung zur Gepulsten Laserabscheidung und ein Substrat mit einer Substratoberfläche zur Reduzierung von Partikeln auf dem Substrat
EP3587620
Art A1
1. Januar 2020
Anmelder: Lam Research Corporation, Solmates B.V. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3587620
- Aktenzeichen
- EP18180369
- Anmeldetag
- 28. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 1. Januar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56C23C14/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
Solmates B.V. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Kanzlei
Inaday Patent B.V.
Enschede, Niederlande
Niederländische Kanzlei mit dem Versprechen, Ideen bereits innerhalb eines Werktages rechtlich abzusichern („Ieder idee, in één dag beschermd“). Standorte unter anderem in Enschede und Zwolle, arbeitet mit festen, transparenten Preisen statt klassischer Stundenabrechnung.
773
Patente gesamt
2
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München