Verfahren zur Formung von Nitridfilmen
EP3588538
Art B1
27. März 2024
Anmelder: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION, Tohoku University, Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3588538
- Aktenzeichen
- EP17896582
- Anmeldetag
- 14. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 27. März 2024
- Erteilung
- 27. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02C23C16/34C23C16/452
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION
Tohoku University
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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