Überwachung der Trockenätzung einer Polymerschicht zur Übertragung von Halbleiterbauelementen

EP3588540 Art A1 1. Januar 2020

Anmelder: Meta Platforms Technologies, LLC, Facebook Technologies, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3588540
Aktenzeichen: EP19151200
Anmeldetag: 10. Januar 2019
Veröffentlichung: 1. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01J37/32G01B11/06H01L21/683// H01L25/075H01L33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Meta Platforms Technologies, LLC
Facebook Technologies, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Meta Platforms Technologies

US-amerikanische Tochtergesellschaft von Meta Platforms, hervorgegangen aus Oculus. Das Unternehmen entwickelt Hardware und Software für Virtual- und Augmented-Reality-Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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