Substrat und Bildgebungseinheit

EP3592121 Art B1 17. Februar 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3592121
Aktenzeichen: EP19194875
Anmeldetag: 13. März 2013
Veröffentlichung: 17. Februar 2021
Erteilung: 17. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H05K3/44H05K3/46H05K1/02H05K1/03H05K1/05H01L27/146H04N5/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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