Kleinwinkelröntgenstreuungsmetrologiesystem für Übertragung
EP3593124
Art B1
10. Januar 2024
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3593124
- Aktenzeichen
- EP18784894
- Anmeldetag
- 13. April 2018
- Veröffentlichung
- 10. Januar 2024
- Erteilung
- 10. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G01N23/02G01N23/201G01B15/00G01N23/20H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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