Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Phase und Amplitude von Licht durch eine Schicht
EP3593209
Art A1
15. Januar 2020
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3593209
- Aktenzeichen
- EP18806454
- Anmeldetag
- 25. Mai 2018
- Veröffentlichung
- 15. Januar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/26G03F7/20H01L21/027H01L21/66G03F1/32G03F1/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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