Systeme und Verfahren zur Metrologie mit Schichtspezifischen Beleuchtungsspektren
EP3593377
Art A1
15. Januar 2020
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3593377
- Aktenzeichen
- EP18781359
- Anmeldetag
- 28. März 2018
- Veröffentlichung
- 15. Januar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01B11/06G01N21/84G01N21/956G01N21/88G03F7/20G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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