System mit einer Gasrezirkulationseinrichtung
EP3594498
Art B1
5. Januar 2022
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3594498
- Aktenzeichen
- EP19207550
- Anmeldetag
- 6. November 2019
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2022
- Erteilung
- 5. Januar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04B9/115F04B43/073F04D29/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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