Neue Formulierung zur Abscheidung von Siliciumdotiertem Hafniumoxid als Ferroelektrische Materialien

EP3596249 Art A1 22. Januar 2020

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3596249
Aktenzeichen: EP18767092
Anmeldetag: 14. März 2018
Veröffentlichung: 22. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/455H01L21/02H01L49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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