Lagervorrichtung, Magnetschwerkraftkompensator, Vibrationsisolationssystem, Lithografische Vorrichtung, Verfahren zur Steuerung eines Schwerkraftkompensators mit Negativer Steifigkeit und Feder
EP3596547
Art A1
22. Januar 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3596547
- Aktenzeichen
- EP18712507
- Anmeldetag
- 15. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 22. Januar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20F16C39/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Nouwens, Johannes Wilhelmus Henricus
Veldhoven, Niederlande
7
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven