Platzsparende Plattformarchitektur mit Linearem Vakuumübertragungsmodul

EP3596752 Art B1 8. Januar 2025

Anmelder: Lam Research Corporation, LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3596752
Aktenzeichen
EP18767005
Anmeldetag
14. März 2018
Veröffentlichung
8. Januar 2025
Erteilung
8. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Lam Research Corporation
LAM Research Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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