Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren

EP3598111 Art A1 22. Januar 2020

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3598111
Aktenzeichen: EP17901221
Anmeldetag: 13. November 2017
Veröffentlichung: 22. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/95G01N21/88G01N21/952G01M13/021

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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