Vorrichtung zur Messung von Oberflächeneigenschaften eines Materials

EP3599471 Art A1 29. Januar 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3599471
Aktenzeichen: EP18185713
Anmeldetag: 26. Juli 2018
Veröffentlichung: 29. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01R1/073G01R31/26G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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