Strukturierung von Rippenstrukturen in ein Halbleitersubstrat

EP3599635 Art A1 29. Januar 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3599635
Aktenzeichen
EP18185292
Anmeldetag
24. Juli 2018
Veröffentlichung
29. Januar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/336H01L29/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC vzw
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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