Strukturierung von Rippenstrukturen in ein Halbleitersubstrat
EP3599635
Art A1
29. Januar 2020
Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3599635
- Aktenzeichen
- EP18185292
- Anmeldetag
- 24. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 29. Januar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/336H01L29/78
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC vzw
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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