Verfahren zum Detektieren von Partikeln an der Oberfläche eines Objekts, Wafer und Maskenblank

EP3602198 Art B1 4. Oktober 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3602198
Aktenzeichen: EP18712138
Anmeldetag: 14. März 2018
Veröffentlichung: 4. Oktober 2023
Erteilung: 4. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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