Verfahren zur Herstellung einer Yttriumoxidhaltigen Dünnschicht durch Atomlagenabscheidung
EP3604613
Art A1
5. Februar 2020
Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3604613
- Aktenzeichen
- EP18775277
- Anmeldetag
- 13. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40H01L21/31H01L21/316C23C16/455C07F17/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Adeka Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ADEKA Corporation
ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.
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