Metrologievorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
EP3605230
Art A1
5. Februar 2020
Anmelder: Stichting VU, Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, Universiteit van Amsterdam, ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3605230
- Aktenzeichen
- EP18186825
- Anmeldetag
- 1. August 2018
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Stichting VU
Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
Universiteit van Amsterdam
ASML Netherlands B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
49
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11
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2
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ASML Netherlands B.V · Veldhoven