Verfahren zur Herstellung eines Mikroelektromechanischen Systems

EP3606868 Art A1 12. Februar 2020

Anmelder: ROHM CO., LTD., KIONIX, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3606868
Aktenzeichen: EP18780969
Anmeldetag: 4. April 2018
Veröffentlichung: 12. Februar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: B81B3/00B81C1/00G01L13/06G01L13/02H01L21/322H01L21/225H01L21/02H01L21/32H01L21/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ROHM CO., LTD.
KIONIX, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Rohm

Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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