Chemisch-Mechanische Planarisierungszusammensetzung zum Polieren von Oxidmaterialien und Verfahren zur Verwendung davon

EP3608378 Art B1 24. September 2025

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3608378
Aktenzeichen: EP19191128
Anmeldetag: 9. August 2019
Veröffentlichung: 24. September 2025
Erteilung: 24. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/3105H01L21/321C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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