Elektronenmikroskop

EP3608940 Art B1 24. Februar 2021

Anmelder: JEOL LTD., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3608940
Aktenzeichen: EP19191083
Anmeldetag: 9. August 2019
Veröffentlichung: 24. Februar 2021
Erteilung: 24. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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