Aerosolfreies Gefäss für Blasenbildende Chemische Vorläufer in einem Abscheidungsverfahren

EP3610052 Art A1 19. Februar 2020

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3610052
Aktenzeichen: EP18784890
Anmeldetag: 6. April 2018
Veröffentlichung: 19. Februar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/448C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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