Metrologievorrichtung und Photonische Kristallfaser

EP3611569 Art A1 19. Februar 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3611569
Aktenzeichen
EP18189237
Anmeldetag
16. August 2018
Veröffentlichung
19. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G01N21/47G01N21/956F21V8/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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