Piezoelektrischer Aktuator sowie Aktuatorsystem, Substratträger und Lithographievorrichtung mit dem Aktuator
EP3611770
Art A1
19. Februar 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3611770
- Aktenzeichen
- EP18189293
- Anmeldetag
- 16. August 2018
- Veröffentlichung
- 19. Februar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L41/09G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Nouwens, Johannes Wilhelmus Henricus
Veldhoven, Niederlande
7
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven