Suszeptor zum Halten einer Halbleiterscheibe mit Orientierungskerbe sowie Abscheideverfahren
EP3613072
Art B1
27. Juli 2022
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3613072
- Aktenzeichen
- EP18719803
- Anmeldetag
- 17. April 2018
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2022
- Erteilung
- 27. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687C30B25/12C23C16/458
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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