Scrollpumpen und Herstellungsverfahren für Solche

EP3617511 Art B1 8. Dezember 2021

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3617511
Aktenzeichen
EP19201745
Anmeldetag
7. Oktober 2019
Veröffentlichung
8. Dezember 2021
Erteilung
8. Dezember 2021
Rechtsraum
EP
IPC
F04C18/02F04C25/02F04C27/00
Offizieller Volltext

Abstract

Scrollpumpe umfassend ein bewegliches, zum Erzeugen einer Pumpwirkung exzentrisch erregbares Spiralbauteil (30), wobei das Spiralbauteil eine Grundplatte (66) und eine sich ausgehend von der Grundplatte erstreckende Spiralwand (28) aufweist, wobei: - außen an der Grundplatte wenigstens zwei über den Umfang der Grundplatte beabstandete Haltevorsprünge (68) vorgesehen sind und/oder - die Spiralwand (28) an ihrem der Grundplatte (66) abgewandten Ende eine Nut (114) aufweist, in der ein Dichtungselement (64) aufgenommen ist, wobei die Nut (114) durch zwei gegenüberliegende Seitenwände (116, 118) begrenzt ist, und wobei in einem ersten Spiralabschnitt (120) eine erste der Seitenwände (118) dicker ist als eine zweite der Seitenwände (116) im ersten Spiralabschnitt (120) und/oder als eine oder beide Seitenwände (116, 118) in einem zweiten Spiralabschnitt (122). Verfahren zur Herstellung einer Scrollpumpe.

Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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