Entwurfslayoutmusternäherungskorrektur durch Kantenplazierungsfehlervorhersage
EP3619577
Art A1
11. März 2020
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3619577
- Aktenzeichen
- EP18794270
- Anmeldetag
- 27. April 2018
- Veröffentlichung
- 11. März 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F1/72G03F1/36G03F1/70H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München