Verfahren zur Entfernung eines Substrats

EP3619748 Art B1 17. April 2024

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3619748
Aktenzeichen: EP18794585
Anmeldetag: 7. Mai 2018
Veröffentlichung: 17. April 2024
Erteilung: 17. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L23/00H01L33/00H01S5/02H01L21/02H01S5/343H01L33/46H01L33/32H01L33/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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