Vakuumvorrichtung und Verfahren zur Fehlerbehebung

EP3621099 Art B1 5. Mai 2021

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3621099
Aktenzeichen: EP19191521
Anmeldetag: 13. August 2019
Veröffentlichung: 5. Mai 2021
Erteilung: 5. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/18H01J37/24G05B19/042G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von