Verfahren und Systeme zur Charakterisierung eines Röntgenstrahls mit Hoher Räumlicher Auflösung

EP3622276 Art A1 18. März 2020

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3622276
Aktenzeichen
EP18799085
Anmeldetag
10. Mai 2018
Veröffentlichung
18. März 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/223G01N23/2204G01N23/201H01L21/68H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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