Filmbildende Vorrichtung und Verfahren zur Bildung eines Piezoelektrischen Films

EP3623496 Art B1 31. August 2022

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3623496
Aktenzeichen: EP18798862
Anmeldetag: 18. April 2018
Veröffentlichung: 31. August 2022
Erteilung: 31. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/00C23C14/40H01L21/31H01L21/316H01L41/316C23C14/08C23C14/35H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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