Vakuumpumpe umfassend eine Holweckpumpstufe und Zwei Seitenkanalpumpstufen

EP3623634 Art B1 6. April 2022

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3623634
Aktenzeichen
EP19191378
Anmeldetag
13. August 2019
Veröffentlichung
6. April 2022
Erteilung
6. April 2022
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D23/00F04D29/62F04D29/64
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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