Transfer von Zweidimensionalen Schichten

EP3624170 Art B1 3. März 2021

Anmelder: IMEC vzw, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3624170
Aktenzeichen: EP18194201
Anmeldetag: 13. September 2018
Veröffentlichung: 3. März 2021
Erteilung: 3. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304

Abstract

A method for delaminating a film from a substrate. The method comprises: providing (210) a substrate (101) of a first material with on top thereof a film (102) of a second material; bonding (220) the film (102) to a carrier (108) using an adhesive (106); intercalating (230) a supercritical fluid between the film (102) and the substrate (101), wherein the supercritical fluid has a critical temperature below a glass transition temperature of the adhesive (106); mechanical peeling (240) of the substrate (101) from the film (102).

Anmelder

Firmen: IMEC vzw
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 KU Leuven Research & Development

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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