Ätzverfahren

EP3624171 Art B1 8. September 2021

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3624171
Aktenzeichen: EP18813647
Anmeldetag: 1. Juni 2018
Veröffentlichung: 8. September 2021
Erteilung: 8. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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