Halbleitermetrologiesysteme mit mehreren Einfallswinkeln und Verfahren
EP3624174
Art B1
21. August 2024
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3624174
- Aktenzeichen
- EP19207085
- Anmeldetag
- 15. September 2014
- Veröffentlichung
- 21. August 2024
- Erteilung
- 21. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/21G01N21/88G01N21/95G01B11/06// H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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