Vakuumsystem und Verfahren zum Identifizieren Elektronischer Module in einem Solchen
EP3626973
Art B1
3. August 2022
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3626973
- Aktenzeichen
- EP19191304
- Anmeldetag
- 12. August 2019
- Veröffentlichung
- 3. August 2022
- Erteilung
- 3. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D27/02F04D19/04F04B37/14F04C25/02F04D27/00H01R13/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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