Verfahren zur Herstellung eines Rohlings für Halbton-Phasenschiebermaske, und Dünnschichtausbildungsvorrichtung

EP3627223 Art B1 16. Juni 2021

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3627223
Aktenzeichen: EP19208981
Anmeldetag: 3. August 2017
Veröffentlichung: 16. Juni 2021
Erteilung: 16. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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