Optisches System, Metrologievorrichtung und Zugehöriges Verfahren
EP3627226
Art A1
25. März 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3627226
- Aktenzeichen
- EP18195638
- Anmeldetag
- 20. September 2018
- Veröffentlichung
- 25. März 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N21/88G01N21/95G02B17/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
49
Patente gesamt
11
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven