Hochoxid- Vs Nitridselektivität, Trench-Dishing mit Niedrigem und Gleichmässigem Oxidgehalt Beim Chemisch-Mechanischen Polieren und Planarisieren mit Flachgrabenisolation (sti)

EP3628713 Art B1 12. Januar 2022

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3628713
Aktenzeichen: EP19199915
Anmeldetag: 26. September 2019
Veröffentlichung: 12. Januar 2022
Erteilung: 12. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

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