Vakuumsystem und Vakuumpumpe
EP3629366
Art B1
11. Mai 2022
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3629366
- Aktenzeichen
- EP20152401
- Anmeldetag
- 17. Januar 2020
- Veröffentlichung
- 11. Mai 2022
- Erteilung
- 11. Mai 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J49/24F04B37/06F04B37/08F04B37/14F04D19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum Technology AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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