Funktionalisierte Cyclosilazane als Vorläufer für Siliciumhaltige Filme mit Hoher Wachstumsrate

EP3630785 Art B1 3. September 2025

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3630785
Aktenzeichen: EP18806025
Anmeldetag: 23. Mai 2018
Veröffentlichung: 3. September 2025
Erteilung: 3. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C07F7/21C07F7/10C23C16/40C23C16/34C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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