Aktuator, Linearmotor und Lithographische Vorrichtung

EP3631957 Art B1 20. September 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3631957
Aktenzeichen
EP18722476
Anmeldetag
3. Mai 2018
Veröffentlichung
20. September 2023
Erteilung
20. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H02K41/02H02K9/22
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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