Detektion von Klebstoffresteresten auf einem Wafer

EP3633718 Art A1 8. April 2020

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3633718
Aktenzeichen: EP18197928
Anmeldetag: 1. Oktober 2018
Veröffentlichung: 8. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L21/66H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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