Verfahren und Vorrichtung zur Polarisierten Retikelinspektion
EP3635375
Art B1
14. Februar 2024
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3635375
- Aktenzeichen
- EP18827850
- Anmeldetag
- 29. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 14. Februar 2024
- Erteilung
- 14. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G02B27/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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