Spektralfilter für Hochleistungsfaserbeleuchtungsquellen
EP3635453
Art A1
15. April 2020
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3635453
- Aktenzeichen
- EP18841256
- Anmeldetag
- 23. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 15. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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