Inspektionsgeführte Auswahl Kritischer Stellen für die Messung Kritischer Abmessungen
EP3635774
Art B1
19. Juli 2023
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3635774
- Aktenzeichen
- EP18844310
- Anmeldetag
- 6. August 2018
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2023
- Erteilung
- 19. Juli 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/02G06N3/04G06N3/08H01L21/66G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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